在半導(dǎo)體電子行業(yè)蓬勃發(fā)展的當(dāng)下，廢氣處理裝置正悄然扮演著至關(guān)重要的角色，堪稱守護(hù)行業(yè)綠色發(fā)展的忠誠衛(wèi)士。

半導(dǎo)體電子生產(chǎn)過程復(fù)雜，涉及多種化學(xué)工藝，這使得廢氣排放呈現(xiàn)出成分復(fù)雜、毒性大的特點(diǎn)。光刻環(huán)節(jié)使用的光刻膠含有大量揮發(fā)性有機(jī)化合物（VOCs），如苯、甲苯等，這些物質(zhì)不僅對人體呼吸系統(tǒng)、神經(jīng)系統(tǒng)有嚴(yán)重?fù)p害，還會在大氣中參與光化學(xué)反應(yīng)，導(dǎo)致霧霾等環(huán)境污染問題。刻蝕工序產(chǎn)生的含氟廢氣，如四氟化碳、六氟化硫等，具有強(qiáng)溫室效應(yīng)，對全球氣候變暖影響明顯。

為應(yīng)對這些棘手的廢氣問題，多種廢氣處理裝置應(yīng)運(yùn)而生。吸附裝置是其中的常見類型。它利用活性炭、分子篩等具有高比表面積的吸附劑，通過物理吸附作用捕獲廢氣中的污染物。在處理含 VOCs 廢氣時，活性炭吸附裝置能高效吸附廢氣中的有機(jī)分子，凈化效率可達(dá) 90% 以上。當(dāng)吸附劑飽和后，通過熱脫附等方式對其進(jìn)行再生，實(shí)現(xiàn)吸附劑的循環(huán)利用，降低運(yùn)行成本。

對于含氟廢氣等酸性氣體，濕式洗滌塔發(fā)揮著重要作用。其工作原理是讓廢氣與堿性吸收液在塔內(nèi)充分接觸，發(fā)生酸堿中和反應(yīng)。例如，在處理四氟化碳廢氣時，通過氫氧化鈉等堿性溶液吸收，將四氟化碳轉(zhuǎn)化為無害的氟化物鹽類，有效去除廢氣中的酸性物質(zhì)，凈化后的氣體達(dá)標(biāo)排放。

燃燒裝置則是處理高濃度、高熱值有機(jī)廢氣的有力武器。催化燃燒裝置在催化劑的作用下，使廢氣中的有機(jī)物在較低溫度下（通常 200 - 400℃）發(fā)生氧化反應(yīng)，轉(zhuǎn)化為二氧化碳和水。這種處理方式不僅能高效去除廢氣中的污染物，還能回收燃燒產(chǎn)生的熱量，用于預(yù)熱進(jìn)氣或其他生產(chǎn)環(huán)節(jié)，實(shí)現(xiàn)能源的循環(huán)利用。

在半導(dǎo)體電子行業(yè)，廢氣處理裝置宛如堅固的防線，有效遏制了廢氣對環(huán)境和人體的危害。它們不僅保障了企業(yè)的合規(guī)生產(chǎn)，更推動著行業(yè)朝著綠色、可持續(xù)的方向大步邁進(jìn)，為半導(dǎo)體電子產(chǎn)業(yè)的繁榮與生態(tài)環(huán)境的和諧共生保駕護(hù)航。